Szakmai vezető: Sztrik János
- Szerződés típusa: Magyar-kínai TéT 2011-2012
- Projekt leírása: A vékony bi-, és multirétegek számos technológiai folyamatban fontos szerepet töltenek be. Ilyen például a fémes kontaktusok kialakítása az integrált áramkörökben, ahol néhány 10 nanométer vastagságú réz (Cu) réteget, forraszanyagként pedig ón (Sn)- alapú ötvözetet használnak. Mivel a forrasztási folyamat végén a Cu és Sn diffúziós keveredése következtében létrejött intermetallikus ötvözet fogja meghatározni a fémes kontaktus minőségét, és ezzel az integrált áramkör élettartamát, fontos, hogy e folyamat pontosan ismert és jól kézben tartható legyen. Fontos tehát ezen diffúziós folyamatok mechanizmusának pontos ismerete, hiszen egy adott esetben a jól megválasztott rétegrendszer és hőkezelési eljárás jelentős költségcsökkentést eredményezhet a technológiában. A pályázat keretében A/C és A/B/C nanokristályos vékonyfilmekből felépített struktúrában különféle körülmények között végrehajtott hőkezelések hatására létrejövő diffúziós folyamat alapkutatási vizsgálatát tervezzük.
- Projekt időtartama: 2013.07.01 – 2016.05.31
- Projekt összköltsége: 4.446.000 (HUF)
- Kutatás típusa: Alapkutatás
Legutóbb frissítve:
2021. 07. 28. 11:21